上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2022-06-12在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:杭州积海半导体有限公司计划为12英寸集成电路制造项目购买一批设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0613-224022151531/12
招标项目名称:二次离子质谱仪
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 激光尖峰退火机 | 2套 | 本设备主要用于激光尖峰退火 | |
| 2 | 原子力显微镜 | 1套 | 用于特征形貌、深槽和深孔的深度及特征关键尺寸量测，并符合杭州积海半导体(以下简称HFC)制程工艺的量测需求 | |
| 3 | 晶圆激光打标机 | 1台 | 产品制程需求须将晶圆编码刻号以利识别, 其方式为利用激光刻码，以客户指定的位置和内容对硅片做统一标识，便于对硅片能进行有效的追踪 | |
| 4 | 高压扩散炉 | 1套 | 本设备主要用于高压退火氧化炉管 | |
| 5 | 傅立叶变换红外光谱仪 | 1台 | 用于测量薄膜厚度及其特定元素之含量，并针对符合杭州积海半导体(以下简称HFC)需求线宽的晶圆产品进行非接触与非破坏性式量测 | |
| 6 | 光学关键尺寸量测仪及建模拟真系统 | 1套 | 用于周期性的二维、三维特征尺寸和形貌的细微结构测量，并针对符合杭州积海半导体(以下简称HFC)需求线宽的晶圆产品进行非接触与非破坏性式量测 | |
| 7 | X射线光电子能谱仪含建模拟真系統 | 1套 | 用于一般超薄膜的种类、厚度与成份在线量测，并针对符合杭州积海半导体(以下简称HFC)需求线宽的晶圆产品进行非接触与非破坏性式量测 | |
| 8 | X射线荧光光谱仪 | 1台 | 用于测量金属薄膜厚度及其特定元素含量，并针对符合杭州积海半导体(以下简称HFC)需求线宽的晶圆产品进行非接触与非破坏性式量测 | |
| 9 | 集成式膜厚光学量测仪 | 8台 | 利用集成式膜厚光学关键尺寸量测仪以及机群管理器监测在线制程变异以及时做出调整，并达到硅片间厚度控制改善 | |
| 11 | 晶圆盒清洗机 | 3台 | 对12英寸晶圆盒进行关键部件外观检测，并进行清洗、干燥 | |
| 12 | 二次离子质谱仪 | 1台 | 能满足对12寸晶圆的薄膜分析，掺杂分析，污染分析的要求 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)投标人应来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区的法人或其他组织；2)投标人或投标货物的制造商应有向12英寸集成电路制造企业提供同类设备的销售业绩；3) 法律、行政法规规定的其他条件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2022-06-12
招标文件领购结束时间:2022-06-17
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：因上海疫情原因，本项目以邮件形式购买招标文件，请将标书费付款凭证、授权委托书盖章扫描件发送邮件至jc@ ，注明所投项目名称。
招标文件售价:￥1000/$150
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):2022-07-04 10:00
投标文件送达地点:上海市长寿路285号恒达广场10楼(上海机电设备招标有限公司)
开标地点:上海市长寿路285号恒达广场10楼(上海机电设备招标有限公司)如因疫情原因不能现场开标，则开标方式采用视频会议远程开标，请投标人在截止时间前将加盖公章的投标文件以加密PDF形式发送至上述邮箱，具体待招标代理以补充文件形式通知。
6、投标人在投标前应在本网站( />
7、联系方式
招标人:杭州积海半导体有限公司
地址:中国浙江省杭州市钱塘新区义蓬街道江东大道3899号709-7
联系人:黄丽君
联系方式:86-571-5638 1888-10061
招标代理机构:上海机电设备招标有限公司
地址:上海市长寿路285号恒达广场16楼
联系人:姜琛 周敏 金奇伟
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